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*気相エピタキシャル成長*
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気相エピタキシャル成長
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-気相エピタキシャル成長-
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気相エピタキシャル成長
[きそうエピタキシャルせいちょう, kisou epitakisharu seichou] (n) (See 気相エピタキシー) vapor-phase epitaxial growth; vapor-phase epitaxy; VPE
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